掃描電子電鏡(SEM)是利用電子束來照射樣品表面,然后通過接收電子束的信號,產生高分辨率的圖像的一種現代化的分析工具。本文將介紹掃描電子電鏡的操作方法:
1.準備工作
?。?)確保設備能正常運行;
?。?)準備樣品并安裝好;
?。?)檢查探針長度是否恰當;
?。?)檢查吸附泵是否處于運行狀態。
2.調整SEM
在進行掃描電子顯微鏡之前,您需要確保設備已被校準和調整。這包括:
?。?)調整顯微鏡,以獲得聚集的電子束;
?。?)確定樣品表面的中心位置;
?。?)校準電子束的縮放比例和對焦位置;
?。?)確定合適的操作條件,如加速電壓、溫度和壓力。
3.開始掃描
完成了調整后,您可以啟動SEM掃描。這包括:
?。?)將加速電壓設置為適當的值以控制電子束的引導;
?。?)將樣品聚焦在所選方向上,并調整探針的偏移量;
?。?)調整電子束的形狀和大小以獲得最佳的分辨率;
?。?)清潔測試區以確保清晰的掃描圖像。
4.獲取掃描圖像
當SEM充分調整后,您可以開始獲取掃描圖像。此過程包括:
?。?)確定光學顯微鏡和掃描電鏡之間的交互;
?。?)將光標移至圖像上,以捕獲其表面項目的細節;
?。?)調整掃描速度和樣品位置,以獲得更全面的圖像。
5.瀏覽和保存樣品
然后您需要將樣品從顯微鏡中拆出并安排保存。這可以通過在以下過程中完成:
?。?)檢查樣品的表面質量和精細度;
?。?)檢查樣品的軟件屬性,并進行分析和處理;
?。?)將樣品歸檔在電子顯微鏡圖像庫中。
結論
掃描電子顯微鏡是一種現代化的分析工具,在許多領域中起著關鍵作用。這篇文章介紹了操作的過程和感興趣的方面,以幫助您更好地理解其原理和工作方法。