sem掃描電鏡的成像原理不同于光學顯微鏡和透射電子顯微鏡。它以電子束為照明源,將非常精細聚焦的電子束以光柵掃描的方式照射到樣品上,并通過電子與樣品相互作用。然后將產生的二次電子、背散射電子等收集并處理,以獲得微觀形貌的放大圖像。
為了獲得清晰的sem掃描電鏡照片,必須能夠執行基本的電子顯微鏡操作并優化各種樣品的工作條件?;静僮靼ㄊ炀氄{整焦距和散光。對焦相對容易,改變焦距直到圖像最清晰的那一刻。散焦較多時可使用較高的感光度,對焦點附近可降低感光度以進行精確對焦。

在基本操作中消除散光是比較麻煩的,尤其是散光較大的時候,很多初學者都很難調整。然而,散光的產生之前已經介紹過了。由于電子束不再是圓形的,如果不消除散光,圖像就不清楚。然而,在光學中有兩個特殊位置,子午線和矢狀線,其中光束點*正交,清晰的圓圈一般在矢狀和子午線的中間。
所以反映在圖像中,當改變焦距時,會出現兩個嚴重的拉伸,而且拉伸方向可能因樣品而異,但這兩個拉伸方向必須是正交的。因此,此時將焦距調整到兩個拉伸狀態的中間位置,焦距基本固定。然后在這個焦距,調整散光線圈,先調整X或Y的一個維度,等圖像清晰后再調整另一個維度。
拉伸方向不難判斷。樣品中的各種特征點都可以作為判斷的依據,比如孔洞或顆粒,或者樣品的邊緣,都可以很容易地判斷出來。特別是在散光比較大的情況下,焦距和散光這兩個維度不能亂調整,以免散光過大而*無法判斷。